中山市昊源电器设备有限公司是个生产和营销大功率磁控溅射电源的企业公司,主要经营:真空蒸发镀膜电源、中频磁控溅射电源、脉冲磁控溅射电源、直流磁控溅射电源、偏压电源等等。
本公司自主研发生产的磁控溅射电源,成功地运用了优异的脉宽调制技术(PWM),引进三菱、富士等国际较好的MOSFET、IGBT执行元件,大功率机器采用结构均流技术,并配以各种完善的保护功能,使得高频开关电源性问题得到了圆满解决,满足低纹波要求,而且体积小、重量轻、节能环保,是一种性价比较优异的电源产品,是可控硅整流电源的理想替代品。
它具有以下特点:
1、可提供恒流,恒压,恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能,具有佳的负载匹配能力。
3、具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
4,工艺重复性好。
5、提高成膜速度,实现量的溅射膜层。
6、可N 1并联,实现大功率输出,方便维护,性高。
7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能,方便与工控电脑计算机无误差传输,实现全自动控制。
8、具有多级输出功能,可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。