单极脉冲电源与直流脉冲电源有相同的用途,其输出为单极脉冲,具有脉冲幅值稳压功能。使用该电源能明显减少工件打火,通过调节脉冲频率及占空比可改善和控制成膜速度和温度,增加膜基结合力,提高沉积速率。
品名 偏压电源
型号 BP系列
输入 相数 三相+N
电压 380V
频率 50Hz
输入方式 4线(含零线)
输出 波形 脉冲
功率 10KW~100KW(可定制)
电压 0—1200V(可定制)
稳定度 ≤1%
电流 0—100A(可定制)
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤2%
效率 ≥90%
控制 控制方式 标准方式:恒压/高低压切换
可选方式:恒流、恒压、恒功率可切换
控制接口
标准方式:面板手动
可选方式:面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却 风冷或水冷
外型 防护等级 IP21
单元尺寸
(W*D*H) 箱体:440(W)X260(H)X580(D) (20KW风冷)
面板:482(W)X280(H)
重量 30KG(20KW)
备注
售前售后服务
我公司郑重承诺:我公司产品实行一年免费保修,终身提供产品维修服务。